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激光共聚焦顯微鏡OLS5000能夠通過非接觸、非破壞的觀察方式輕松實(shí)現(xiàn) 3D 觀察和測(cè)量。
3D光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x使用Sensofar技術(shù)開發(fā)的neox光學(xué)輪廓儀,其共聚焦部分的主要優(yōu)點(diǎn)是有著*發(fā)光效率的照明硬件和高對(duì)比度算法。這些特點(diǎn)使系統(tǒng)成為測(cè)量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設(shè)備。高品質(zhì)干涉光學(xué)系統(tǒng)和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關(guān)鍵。這項(xiàng)技術(shù)對(duì)于測(cè)量非常光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術(shù)的組合為neox輪廓儀提供了無限寬廣的應(yīng)用領(lǐng)域。
3D光學(xué)輪廓顯微鏡使用光學(xué)輪廓儀,集成了共聚焦計(jì)數(shù)和干涉測(cè)量技術(shù),并具有薄膜測(cè)量能力,該系統(tǒng)可以用于標(biāo)準(zhǔn)的明場(chǎng)彩色顯微成像,共焦成像,三維共焦建模,PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測(cè)量。
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